Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления
Сергиенко Андрей Алексеевич
Работа выполнена на кафедре технологии материалов электроники Московско-го государственного института стали и сплавов (технологического университета).
Научный руководитель:
доктор технических наук, профессор, член-корреспондент РАЕН Кузнецов Геннадий Дмитриевич
Научный консультант:
кандидат технических наук Симакин Сергей Борисович
Официальные оппоненты:
доктор технических наук, профессор Гармаш Владимир Михайлович
кандидат технических наук Митрофанов Евгений Аркадьевич
Ведущее предприятие:
ОАО «Научно-производственное предприятие ЭлТом», г. Томилино
Защита диссертации состоится 21 декабря 2006 г. в 15 часов 30 мин на заседании диссертационного совета Д 212.132.06 при Московском государственном институте стали и сплавов по адресу: 119049, Москва, Крымский вал, д.3, ауд. К-421.
С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Московского государственного института стали и сплавов (технологического университета).
Опубликованно на сайте МИСиС, 20.11.06
Диссертации по специальности
«»:
