Исследование структуры поверхности кремния по оптическому отражению

Работа выполнена в государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Московском Институте Стали и Сплавов (ТУ) и НИИ Системных исследований РАН.

Научный руководитель:
доктор физико-математических наук, профессор Юрий Николаевич Пархоменко

Официальные оппоненты:
доктор физико-математических наук, профессор Виктор Наумович Мордкович
кандидат физико-математических наук, профессор, Игорь Сергеевич Смирнов

Ведущее организация:
Московский Физико-Технический Институт

Защита состоится «22» марта 2007 г. в 14 часов 30 минут на заседании диссертационного совета Д 212.132.06 при государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Технологический университет МИСиС по адресу: 119049, г. Москва, Ленинский проспект, д.4.