Исследование и разработка тонкоплёночных многослойных электролитических ячеек

Ву Дык Хоан

Специальность: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Искомая ученая степень:
кандидат технических наук
Дата и время защиты:
29.06.2017 14:30
Место защиты:
НИТУ «МИСиС»

Специальность 05.27.06 «Технология и оборудование для производства

полупроводников, материалов и приборов электронной техники»

Научный руководитель: доктор технических наук, профессор Слепцов Владимир Владимирович

Работа выполнена на кафедре «Радиоэлектроника, телекоммуникации и нанотехнологии» ФГБОУ ВО «Московский авиационный институт

(национальный исследовательский университет)» — МАИ

Официальные оппоненты:

Нестеров Сергей Борисович — доктор технических наук, Президент Российского научно-технического вакуумного общества, профессор МГТУ им. Э.А. Баумана

Белянин Алексей Федорович — доктор технических наук, профессор ОАО

ЦНИТИ «Техномаш»

Ведущая организация ОАО «РТИ» имени академика А.Л. Минца

Защита диссертации состоится «29» июня 2017 г. в 14 час.30 мин. на заседании Диссертационного совета Д 212.132.06 в НИТУ «МИСиС» по адресу: 119049, г. Москва, Крымский вал, д.3, ауд. К-212.

Диссертации по специальности
«Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»: