Научно-исследовательский центр коллективного пользования «Материаловедение и металлургия» располагает уникальным современным оборудованием, позволяющим анализировать практически любые вещества: металлы, полупроводники, диэлектрики и органические материалы. Здесь проводится количественный и качественный анализ состава твердых тел, определение фазового состава приповерхностных слоев твердых тел, послойный анализ, электронно-микроскопические исследования твердых тел, оценка механических свойств и структура материалов.

Центр выполняет заказы кафедр и лабораторий НИТУ «МИСиС», других вузов, институтов РАН, отраслевых НИИ и предприятий по направлениям:

  • количественный и качественный элементный анализ состава твердых тел,
  • определение фазового состава приповерхностных слоев твердых тел,
  • послойный анализ (распределение примесей по глубине до ~ 5мкм),
  • электронно-микроскопические исследования твердых тел.

Научные исследования:

  • материаловедение объемных и тонкопленочных структур,
  • нанотехнологии и материалы,
  • структура и дефектообразование, их влияние на свойства массивных и тонкопленочных материалов электронной техники,
  • разработка учебно-научного оборудования для исследования поверхностей твердых тел зондовыми методами.

Уникальное оборудование:

  • Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр PHI 5500 ESCA фирмы Physical Electronics (США).
  • Электронный оже-спектрометр PHI 680 AES фирмы Physical Electronics (США).
  • Вторичный ионный масс-спектрометр PHI-6600 SIMS System фирмы Physical Electronics (США).
  • Сканирующий ионный микроскоп Strata-201 фирмы FEI Company (Нидерланды).
  • Лазерный масс-спектрометр LAMMA-1000 фирмы Leybold Heraus (Германия).
  • Профилометр ALPHA-STEP фирмы Tencor (CША).
  • Рентгеновский дифрактометр высокого разрешения Bede D`System фирмы Bede Scientific Instruments Ltd. (Великобритания).
  • Сканирующий туннельный микроскоп (СТМ) (оригинальная разработка Центра).
  • Технологическая установка получения алмазоподобных нанокомпозитов, алмазоподобных пленок и углеродных нанотрубок ULVAC CN-CVD-100 (Япония).
  • Просвечивающий электронный микроскоп JEM-2000 EX (Япония).
  • Растровый электронный микроскоп JSM-6700F с микроанализатором фирмы JEOL (Япония).

Инновационные проекты:

  • методика оценки количественного критерия РФС-анализа,
  • методика расчета данных из зашумленных оже-спектров и низкоразмерных объектов (~20 нм).

Контакты:

Юрий Николаевич Пархоменко, директор НИЦ «Материаловедение и металлургия», профессор, доктор физико-математических наук
Телефон: +7 (495) 236 05 12
E-mail: parkh@rambler.ru