Кожитов Л. В., Кондратенко Т.Т., 
Регистрация 85-219-2005 от 20.01.05
 
В перечень подлежащих охране сведений входят:
-         Крепления полупроводниковой структуры в камере напыления установки типа «УВН-250»;
Способ позволяет без вспомогательных затрат, на самом оборудовании произвести нанесение слоев металла на цилиндрическую поверхность непланарных полупроводниковых структур. Способ предназначен для применения в производстве силовых полупроводниковых приборов нового поколения на основе непланарного кремния.