Способ получения керамических композиционных мишеней-катодов на основе борида, алюминида и силицида хрома для магнетронного осаждения жаростойких покрытий

Левашов Е.А., Штанский Д.В., Погожев Ю.С., Кудряшов А.Е., Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Новиков А.В., Купцов К.А., Пацера Е.И., Потанин А.Ю.,
Регистрация 20-164-2013 ОИС от 30.04.2013

В перечень подлежащих охране сведений входят:
- Составы реакционных смесей для получения керамических композиционных мишеней-катодов;
- Технологические режимы приготовления реакционных смесей для получения керамических композиционных мишеней-катодов;
- Технологические режимы предварительного прессования и силового СВС- компактирования керамических композиционных мишеней-катодов.

Технология силового СВС- компактирования по установленным оптимальным режимам обеспечивает эффективное и высокорентабельное производство многокомпонентных керамических композиций с низкой остаточной плотностью, высокой химической и структурной однородностью. Данные композиции предназначены для изготовления мишеней-катодов, применяемых в технологиях магнетронного напыления функциональных покрытий.
Использование в технологии магнетронного распыления керамических мишеней имеет следующие преимущества: получение многокомпонентных покрытий заданного состава, равномерное распределение компонентов в атомарном потоке, низкая сегрегация фаз в покрытиях, повышение производительности процесса, освобождение технологического пространства в установке за счёт минимизации количества распылительных источников. 
Предложен способ получения керамических композиционных мишеней-катодов на основе борида, алюминида и силицида хрома. Изготовленные по технологии самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС) керамические композиционные мишени-катоды характеризуются высокой химической и структурной однородностью и предназначены для магнетронного осаждения многокомпонентных жаростойких покрытий.