Установка ИК-нагрева QHC-P610CP MFG No ZR099802-0 (Infrared gold Image furnace), фирма Ulvac RIKO, Япония

1

Приобретена  и запущена кафедрой технологии материалов  электроники в 2011г.

Для развития электроники на основе нанотехнологии находят применение новые материалы, представляющие углеродные нанокристаллические материалы и металлоуглеродные нанокомпозиты. Влияние квантово-размерного эффекта наноструктуры на свойства вещества, развитие органических полупроводников и открытие новых форм углерода (фуллерен, углеродные нанотрубки, углеродная пена, графен) стимулировали интерес к синтезу новых углеродных нанокомпозитов с модифицированными химическими свойствами на основе полимеров, которые содержат искривленные углеродные плоскости (сферические, кольцеподобные и тубуленоподобные образования). Типы гибридизации sp1, sp2 и sp3 химических связей атомов углерода и присутствие гетероатомов предполагает возникновение новых углеродных наноструктур, которые изменяют физические и химические свойства (электрическую проводимость, оптоэлектронные свойства, плотность, адсорбцию, работу выхода электронов, электромагнитное поглощение, каталитические и сенсорные свойства), что обеспечивает возможность изготовления электронных устройств, сопряженных с биологическими субстанциями.  На установках инфракрасного нагрева с программируемыми режимами нагрева и контролируемой атмосферой нагрева  эффективно решаются задачи синтеза разнообразных углеродно-композитных наноструктур методами  терморазложения (термического крекинга) органических полимеров, легированных растворами металлических солей.

Технические характеристики печи фотонного отжига QHC-P610C:


№ п/п Наименование Техническая характеристика
1 Максимальная температура отжига 1200оС
3 Программный газовый контроллер Тип QHC
4 Эффективная область нагрева 10 x 80 мм
5 Кварцевый реактор 50 x 360 мм
6 Кварцевые держатели образца Типы: лодочка и пластина
7 Метод охлаждения образца С помощью газа
8 Требуемый расход воды 8 л/мин
9 Требуемый газ для охлаждения образца N2