тел. 962-8038, Vyatkin@ipmt-hpm.ac.ru

Родился 29 декабря 1946, в 1971 г. окончил МИСиС по специальности инженер-металлург.

В настоящее время является заместителем директора по научной работе ИПТМ РАН и профессором на 0,5 ставки в НИТУ МИСиС, д.ф-м.н

Область научных интересов: физическое материаловедение, физические основы технологий микроэлектроники

Учебные курсы, читаемые в университете: «Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел».

Наиболее значимые публикации:

  • Natalia F. Izumskaya, Vitaly S. Avrutin, Anatoly F. Vyatkin  Control over strain relaxation in Si-based heterostructures, Solid-State Electronics, 48 (2004) 1265-1278
  • Avrutin V.S., Agafonov Yu.A., Vyatkin A.F., Zinenko V.I.Izyumskaya N.F., Irzhak D.V., Roshchupkin DV, Shteinman E.A., Vdovin V.I.,Yugova T.G. Low-Temperature Relaxation of Elastic Stresses in SiGe/Si Heterostructures Irradiated with Ge+ Ions., Semiconductors, Vol 38, No3, 2004, pp.313-318
  • Vyatkin, A.F.Starkov V., Tzeitlin V., Presting H., Konig U. Random and Ordered Macropore Formation in p-Type Silicon, Journal of Electrochemical Soc., 149 (1) G70-G76 (2002)
  • Barabanenkov M.Yu. , Vyatkin A.F. “Two-dimensional Periodic Structures of Electronic-Photonic Integrated Circuits: Ion Beam Fabrication Method and Photonic Bandgap Physics and Engineering.”, Journal of Surface Investigation, X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 2007, Vol. 1, №5, pp. 562-579

Основная учебная литература:

  • Учебное пособие «Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел», Курс лекций в 3-х частях, 253 стр. МИСиС, Москва, 2001 г.

Участие в НИР, грантах, разработках и т.д.:

  • «Физические основы и технологии формирования и депроцессинга приборных структур микро- и наноэлектроники с помощью атомных, ионных и молекулярных пучков»., 2007-2009 г.г.

Членство в российских и зарубежных академиях, других общественных организациях:

  • постоянный член 3-х Оргкомитетов Международных конференций

Награды, почетные звания, другие достижения:

  • медаль ордена «За заслуги перед Отечеством» II степени

Темы НИР и дипломных, квалификационных выпускных работ бакалавров и диссертаций магистров:

  • Бакалавр Лунин Ю.М. «Экспериментальное исследование распределения интенсивности тока в пучке ионов в установке с остросфокусированным ионным пучком.»
  • Бакалавр Колчина А.С.: «Технология композиционных газоразделительных мембран на основе палладия»