в процессе ионно-лучевого травления многослойных гетерокомпозиций с использованием ионно-электронной эмиссии.
 
Кузнецов Г.Д., Журавлев А.В.
Регистрация № 7-219-2002 от 29.11.02
 
В перечень подлежащих охране сведений входят:
-          устройство регистрации интегрального сигнала ионно-электронной эмиссии;
-          методика регистрации сигнала электронной эмиссии.
Предлагаемый метод контроля состава гетерокомпозиций и времени перехода от одного слоя к другому в процессе ионно-лучевого травления многослойных структур и пленок отличается от известных методов своей безинерционностью, более высокой чувствительностью, непрерывностью контроля. Реализация непосредственно в процессе осуществления технологического процесса на серийно выпускаемом оборудовании. кроме того, метод позволяет осуществить адаптивно - управляемые технологические процессы с полной автоматизацией.