Способ получения тонких пленок ниобата лития на подложках путем распыления мишени лазерными импульсами

М.Д. Малинкович, А.С. Быков, Р.Н. Жуков, Ю.Н. Пархоменко,
Регистрация 18-339-2012 ОИС от 27.07.2012

В перечень подлежащих охране сведений входят:
- Подготовка мишени из ниобата лития для дальнейшего распыления;
- Конструктивные признаки, характеризующие мишени и условия применения лазера;
- Вид используемого для осуществления метода лазера и параметры его излучения. 

Данный метод позволит снизить затраты на оборудование для распыления ниобата лития примерно в 5 раз, осуществлять более рациональное распыление мишени по сравнению с аналогом. 
Пленки, полученные предлагаемым способом, могут быть использованы в устройствах акустооптики, оптоэлектроники и в других устройствах прецизионной оптики, в устройствах лазерной оптики и оптоэлектроники.