и торцов цилиндрических непланарных подложек
 
Кожитов Л. В., Кондратенко Т.Т., 
Регистрация 83-219-2005 от 20.01.05
 
В перечень подлежащих охране сведений входят:
-         Материалы оснастки;
-         Устройство для фиксации цилиндрических (непланарных) подложек в камере окисления.
Способ позволяет проводить защитное окисление поверхности непланарных (цилиндрических) подложек из монокристаллического кремния. Способ предназначен для применения в производстве силовых полупроводниковых приборов на основе цилиндрических замкнутых полупроводниковых композиций.