Тел. 8 (495) 955-00-31

 Дата рождения:
2 января 1942 г.

 Занимаемая должность -  доцент

  Образование:   высшее, окончил МИСиС, физико-химический факультет в 1966 году. Специальность и квалификация: полупроводники и диэлектрики, инженер электронной техники.

 Учёная степень, звание: кандидат технических наук, доцент

Область научных интересов:

Ионно-лучевые и плазмохимические процессы в электронике.

Учебные курсы, читаемые в университете

1 Вакуумная и плазменная электроника.

Аннотация: Рассматриваются физические основы вакуумной и плазменной электроники и основные направления в этой области.

2 Формирование тонких плёнок.

Аннотация: Рассматриваются физические основы нанесения плёнок, возможные механизмы и методы формирования.

3 Оборудование процессов микро- и нанотехнологий.

Аннотация: Основные направления в разработке оборудования.

4 Вакуумная техника.

Аннотация: Теоретические основы процесса получения вакуума, основные типы вакуумных систем.

5 Элионная технология в микро- и наноиндустрии.

Аннотация: Применение ионных и электронных пучков для получения материалов электронной техники.

6 Технология полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

7 Высоковакуумное оборудование в наноэлектронике

8 Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии

 Публикации:

1 С.П. Курочка, Г.Д Кузнецов, А.С Курочка А.С. Вакуумная и плазменная электроника, курс лекции, М,: МИСиС, Изд. Дом МИСиС, 2009

2 Устройство контроля процесса ионно-лучевого травления многослойных гетероструктур с использованием ионно-электронной эмиссии / Б.А.Билалов, Г.К.Сафаролиев, С.П.Курочка и др. // Патент на полезную модель №84366, 2009

3 Симакин С.Б., Сергиенко А.А., Кузнецов А.С., Курочка С.П., Ходос Ю.А., Харламов Н.А., Пушкарев М.А. Неразрушающий контроль процесса ионно-лучевого травления наноразмерных гетероструктур.// Заводская лаборатория. Диагностика материалов. –М.: Т. 77, №3, 2011г., с.28-34.

4 Кузнецов Г.Д., Курочка А.С., Сергиенко А.А., Курочка С.П. Электронная эмиссия в процессе реактивного ионно-лучевого травления материалов электронной техники. // Материалы электронной техники. –М.: МИСиС, №3, 2011г., с. 62-67.

Основная литература, автором или соавтором которой является преподаватель:

1Методики определения параметров вакуумных систем. Лабораторный практикум. / Г.Д. Кузнецов, С.П. Григорович, С.П.Курочка, И.В. Лобачёв, В.А. Никоненко // М,: МИСиС, 2002

2 Основы метрологии в электронике. Курс лекций. /  В.В.Батавин  , С.П.Курочка, Д.Г. Крутогин, С.В. Подгорная // М,: МИСиС, 2004

3 Вакуумная и плазменная электроник. Лабораторный практикум. / Г.Д. Кузнецов, С.П. Курочка, И.В. Лобачёв // М,: МИСиС, 2005

4 Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы. Лабораторный практикум. / Г.Д. Кузнецов, С.П. Курочка, А.Р. Кушхов и др. // М,: МИСиС, 2007

5 Вакуумная и плазменная электроника. Курс лекций. /С.П. Курочка, Г.Д. Кузнецов, А.С. Курочка // М,: Изд. Дом МИСиС, 2009

6 Элионная технология в микро- и наноиндустрии: неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций: учеб. пособие /   Г.Д. Кузнецов, А.А. Сергиенко, С.Б. Симакин, С.П. Курочка, А.С. Курочка – М.: Изд. Дом МИСиС, 2012.-122с.

Участие в НИР, грантах, разработках и т.д.:

 «Электроискровое формирование многофазных покрытий с повышенной электропроводностью», грант по разделу «Энергетика и электротехника»,                                           ТОО-1.5.-890, 2002-2003 годы

Награды, почётные звания, другие достижения:

1  Лучший технолог Министерства электронной промышленности СССР

2  Нагрудный знак «Победитель социалистического соревнования 1973 года»

3  Медаль «За доблестный труд в ознаменование 100-летия со дня рождения В.И. Ленина»

4  Медаль «Ветеран труда»

Научные и учебные публикации за последние 5 лет:

1 Перераспределение легирующих примесей в полупроводниках после лазерной обработки. /С.Ж. Гонов, Г.Д. Кузнецов, Р.М. Тешев, С.П. Курочка // Труды IV международной конференции «Химия твёрдого тела и современные проблемы микро- и нанотехники», 2004

2 Основы метрологии в электронике. Курс лекций. / В.В. Батавин , С.П. Курочка, Д.Г. Крутогин, С.В. Подгорная. // М,: МИСиС, 2004

3 Технология и оборудование для травления и нанесения плёнок ионным распылением в вакууме. / Г.Д. Кузнецов, С.П. Курочка, С.Б. Симакин // Труды IV Российско – Японского семинара. МИСиС – UWAC, 2006

4 Электронная эмиссия в процессе реактивного ионного травления. / С.П. Курочка, А.А. Сергиенко, Г.Д. Кузнецов, Н.А. Харламов // Труды международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии в электронике», 2009

Повышение квалификации за последние 5 лет:

Технология использования и разработки учебного курса с применением средств мультимедиа, МИСиС, 72 часа, 2007

Темы НИР и дипломных, квалификационных выпускных работ бакалавров и диссертаций магистров за последние 3 года:

· Формирование тонких плёнок гидрогенизированного аморфного кремния для активных матриц жидкокристаллических дисплеев. Магистерская диссертация. Исаков С.П., 2009 год

· Особенности контроля процесса ионно-лучевого травления с помощью ионно-индуцированных токов. Магистерская диссертация. Вин Со, 2009 год

· Моделирование процесса получения диэлектрической плёнки Si3N4 с помощью реактивного ионно-лучевого травления. Квалификационная выпускная работа бакалавра. Одобряев Н.Д., 2009 год

· Особенности ионно-лучевого травления и методов контроля процесса травления. Квалификационная выпускная работа бакалавра. Наумов Н.Н., 2009 год

· Разработка процесса напыления диэлектрической плёнки TiO2 для плазменных панелей. Инженерный диплом. Аксёнов Д.В., 2009 год

· Разработка технологии формирования металлических и диэлектрических плёнок для фотодиода с барьером Шоттки. Инженерный диплом. Миронов П.А., 2009 год

· Формирование тонких плёнок для электродов ЖК-индикаторов. Квалификационная выпускная работа бакалавра. Пушкарёв М.А., 2009 год

· Исследование состава и технологии нанесения люминофорных плёнок проекционного ЭЛП. Квалификационная выпускная работа бакалавра. Колосов Д.В., 2008 год

· Формирование тонких диэлектрических слоёв методом реактивного магнетронного распыления для плазменных дисплеев. Инженерный диплом. Баранов В.Ю., 2008 год

· Определение профиля легирования полупроводников электрохимическим методом. Магистерская диссертация. А Ка Найнг, 2008 год

· Магнетронное травление металлических плёнок Ag-Cr для подгонки частоты монолитных пьезоэлектрических фильтров. Магистерская диссертация. Мин Нэй Тун, 2008 год

· Формирование тонкоплёночных резисторов методом магнетронного распыления. Инженерный диплом. Кобышев Е.В., 2007 год

· Исследование условий формирования плёнок α – Si:H для солнечных элементов. Магистерская диссертация. Терентьев Е.С., 2007 год

· Современные тенденции развития кремниевых солнечных элементов. Квалификационная выпускная работа бакалавра. Исаков С.П., 2007 год

·  Методы контроля процессов ионно-лучевого травления материалов. Квалификационная выпускная работа бакалавра. Мартынова О.Е., 2007 год