Метод измерения толщины чувствительной области GaAs детекторов с тонким рабочим слоем

Кольцов Г.И., Диденко С.И., Черных А.В., Черных С.В., Бритвич Г.И., Чубенко А.П.,
Регистрация 30-035-2012 ОИС от 23.10.2012

В перечень подлежащих охране сведений входят:
- Методика измерения 

Метод обладает высокой точностью и относительной простотой, реализуется с помощью стандартного оборудования для измерения спектральных характеристик детекторов. Позволяет измерять структуры с различными величинами «мертвых слоёв», а также структуры в корпусе. 
Метод используется при регистрации ядерных излучений и позволяет измерять толщину чувствительной области полупроводниковых GaAs детекторов с тонким (40-100 мкм) рабочим слоем.