методом ионно-плазменного напыления из мишеней стехиометрического состава
 
Максимов Н.А., Нигматулин А.С., Чичков В.И
Регистрация 294-075-2008 от 17.11.08
 
В перечень подлежащих охране сведений входят:
-              скорость нанесения;
-             температурные режимы процесса.
Получение квазикристаллических текстурированных пленок из стехиометрической мишени в одну стадию.
Квазикристаллическая пленка получается непосредственно в процессе роста на нагретой подложке и имеет ярко выраженную текстуру, причем в плоскости подложки растет плоскость второго порядка квазикристалла системы Al-Cu-Fe.