Программный продукт для определения толщин сверхтонких пленок методом электронной оже-спектроскопии

Подгорный Д.А., Сметюхова Т.Н.,
Регистрация 15-339-2012 ОИС от 10.07.2012

В перечень подлежащих охране сведений входят:
- Программный продукт расчета толщин слоев пленок методом электронной оже-спектроскопии;
- Руководство пользователя по работе с программным продуктом для определения толщины пленки на подложке, а так же толщин многослойных пленок на подложке. 

Методика проста в использовании, универсальна для любых типов оже-спектрометров и программ обработки данных. Позволяет определять толщины пленок менее 5 нм в многослойных гетероструктурах без разрушения объекта исследования. 
Предложенная методика оценки толщин тонких слоев позволяет определить толщины сверхтонких пленок до 5 нм в многослойных гетероструктурах без разрушения исследуемого материала.