Кожитов Л. В., Кондратенко Т.Т., 
Регистрация 88-219-2005 от 20.01.05
 
В перечень подлежащих охране сведений входят:
-         Порядок использования абразивных материалов на цилиндрическую обрабатывающую поверхность.
-          Порядок подачи абразивных материалов на цилиндрическую обрабатываемую поверхность.
Способ позволяет обрабатывать (шлифовать) внешнюю цилиндрическую поверхность непланарных тонкостенных подложек с образованием механически нарушенного слоя кремния минимальной толщины; исключает зарождение и распространение микротрещин вглубь стенки цилиндрической подложки. Способ предназначен для обработки поверхности полупроводниковых монокристаллических цилиндрических подложек, как основы силовых полупроводниковых приборов нового поколения.