Высокое разрешение и высокое качество изображения позволяют проводить количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур благодаря электронной пушке с холодным катодом, сверхвысокому вакууму и усовершенствованным цифровым технологиям. Приставка для энергодисперсионной спектрометрии JED-2300F позволяет осуществлять качественный и количественный анализ состава твердотельных структур с использованием метода энергодисперсионной спектрометрии.

Использование программного обеспечения «Analysis Station» в операционной системе WINDOWS XP предполагает два варианта количественного анализа:
  1. Функция « Дифференциальный фильтр + Метод наименьших квадратов + ZAF метод» использует справочные спектры элементов,
  2. Функция «QBase» выполняет анализ, используя стандартные спектры минералов.

Технические характеристики:

  • Источник первичных электронов – холодноэмиссионная полевая пушка.
  • Разрешение:
    • 0,1 нм при 15 кВ;
    • 0,22 нм при 1 кВ.
  • Ускоряющее напряжение – 0,5-30 кВ.
  • Максимальный размер образца 200х200 мм, устойчивое сверхвысокое разрешение по всей площади объекта.
  • Рабочее расстояние – 1,5-25 мм.
  • Вакуум в:
    • области источника 10-8 Па
    • в камере 10-5 Па
  • Разрешение EDS – 133 эВ.
  • Анализируемые элементы от B до U (количественный анализ).