Муковский Я.М., Чичков В.И., Пестун А.Е.
Регистрация 128-075-2006 от 16.01.06
 
В перечень подлежащих охране сведений входят:
-       Тип распылительного устройства;
-       Состав и давление рабочей атмосферы;
-       Температурный режим.
Обеспечение воспроизводимости стехиометрического и фазового составов получаемых пленок.
Получены однофазные с высоким кристаллографическим совершенством пленки La2NiO4 из мишеней неоднородного фазового состава.