методом Чохральского - Степанова
 
Кожитов Л. В., Кондратенко Т.Т., 
Регистрация 79-219-2005 от 20.01.05
 
В перечень подлежащих охране сведений входят:
-          Устройство элементов дополненного узла крепления плавильного тигля в зоне нагревания печи типа «РЕДМЕТ»;
Устройство оснастки позволяет обеспечить постоянные стабильное значение градиента температуры в слое расплава в плавильном тигле, в зоне касания зеркала расплава затравкой; обеспечивает формирование кольцевого фронта кристаллизации без применения формообразователя из инородного материала, контактирующего с расплавом кремния. Оснастка предназначена для применения в промышленном производстве продольных монокристаллов кремния, как исходного материала для изготовления непланарных цилиндрических подложек, с целью минимизации потерь кремния при дальнейшем раскрое на мерные заготовки подложек.