Исследование элементного состава твердофазных материалов методом электронной Оже-спектроскопии (ЭОС) основано на анализе энергетического распределения Оже-электронов, эмитированных с поверхности вещества в вакууме при его возбуждении электронным пучком.

Информативность метода:

  • идентификация всех химических элементов, кроме водорода и гелия,
  • полуколичественный анализ,
  • определение химического состояния элемента,
  • высокая локальность ~10 нм,
  • глубина анализа от 5 до 50 Å,
  • чувствительность метода – 1-3 ат.%
Технические возможности установки определяются уникальным сочетанием высокодисперсионного цилиндрического анализатора с системой электростатических линз, ограничивающих область анализа, многоканального детектора Оже-электронов, уникального источника электронов.

Ионная пушка с дифференциальной откачкой, встроенная в камеру анализа, позволяет очищать поверхности образцов от адсорбированных на воздухе примесей, а также осуществлять ионное травление образцов на глубину порядка 1 мкм.

Низкое давление остаточных газов в камере анализа обеспечивается работой ионных насосов с высокой скоростью откачки, а также системой загрузки образца, предусматривающей предварительную его откачку в специальной камере и ввод образца в тестовую камеру без заметного повышения давления.

Наличие устройства для скола образцов позволяет получать атомарно чистые поверхности в сверхвысоком вакууме.