Исследование химического состава твердофазных материалов методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) основано на анализе энергетического распределения фотоэлектронов, эмитированных с поверхности вещества в вакууме при его возбуждении рентгеновскими фотонами.

Информативность метода:

  • идентификация всех химических элементов, кроме водорода и гелия,
  • полуколичественный анализ,
  • определение химического состояния элемента,
  • глубина анализа от 5 до 50 Ао,
  • чувствительность метода – 0,1-0,3 ат.%
Технические возможности прибора определяются уникальным сочетанием прецизионного энергетического анализатора сферического типа, оснащенного входной двухступенчатой системой электростатических линз, многоканального детектора фотоэлектронов; стандартного рентгеновского источника с двойным анодом (Al и Mg ka излучение) и источника монохроматизированного излучения (Al ka излучение).

Область анализа регулируется апертурой анализатора и напряжением на входных линзах (контролируется через компьютер), при этом для круглой области анализа диаметр меняется от 150 мкм до 1100 мкм, а для щели – от 0,6x2 до 3x10 мм2.

Ионная пушка с дифференциальной откачкой, встроенная в камеру анализа, позволяет очищать поверхности образцов от адсорбированных на воздухе примесей, а также осуществлять ионное травление образцов на глубину порядка сотен нанометров.

Низкое давление остаточных газов в камере анализа до 3∙10-8 Па обеспечивается работой ионного насоса с высокой скоростью откачки, а также системой загрузки образца, предусматривающей предварительную его откачку в специальной камере, и ввод образца в тестовую камеру без заметного повышения давления