Тел.: (495) 955-01-94
E-mail: ezhlov_v@mail.ru
Ауд.: К-412
Дата рождения   01 января 1969 г.
Занимаемая должность: доцент
Образование: высшее, Московский государственный институт стали и сплавов (технологический университет)
Год окончания: 1996 г.
Специальность и квалификация: «Материалы и компоненты твердотельной электроники»
Ученая степень, звание: кандидат физико-математических наук

1. Область научных интересов:

материаловедение монокристаллического кремния, разработка ростового оборудования, сертификация материалов и процессов электроники.

2. Учебные курсы, читаемые в университете (название курса, аннотация):

  • Сертификация процессов и материалов электронной техники
  • Фазовые и структурные превращения

3. Публикации

  1. Особенности распределение германия в легированных монокристаллах кремния, выращенных методом жестко закрепленных сообщающихся сосудов Дашевский М.Я., Карпов Ю.А., Филиппов М.Н., Ежлов В.С., Музыченко Г.А., Петров В.В., Михненко В.М. Тезисы докладов Первой Российской конференции по материаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния ("Кремний-96"), Москва, МИСиС, 1996, с.51.
  2. Особенности распределения германия в легированных монокристаллах кремния, выращенных методом нормальной кристаллизации Дашевский М.Я., Ежлов В.С., Филиппов М.Н., Широкопояс А.В. Тезисы докладов V Международной конференции «Термодинамика и материаловедение полупроводников», Москва, 1997, с.43.
  3. Особенности распределения германия в легированных монокристаллах кремния, выращенных методом жестко закрепленных сообщающихся сосудов Дашевский М.Я., Ежлов В.С., Карпов Ю.А., Филиппов М.Н., Музыченко Г.А., Петров В.В., Широкопояс А.В., Михненко В.М. Изв. вузов. Цветная металлургия, 1997, №5, с.32-36.
  4. Распределение германия в монокристаллах кремния Дашевский М.Я., Иванченко В.И., Ежлов В.С., Филиппов М.Н., Широкопояс А.В. Тезисы докладов Второго Российского симпозиума «Процессы тепломассопереноса и рост монокристаллов и тонкопленочных структур», Обнинск, 1997, с.53.
  5. Распределение германия в монокристаллах кремния Дашевский М.Я., Иванченко В.И., Ежлов В.С., Филиппов М.Н., Широкопояс А.В. В сб. трудов Второго Российского симпозиума «Процессы тепломассопереноса и рост монокристаллов и тонкопленочных структур», Обнинск, 1998, с.181-188.
  6. Структурные особенности и физические свойства легированных монокристаллов кремния, выращенных в условиях микрогравитации Дашевский М.Я., Иванченко В.И., Ежлов В.С., Филиппов М.Н., Левтов В.Л., Романов В.В. Тезисы докладов Международной конференции по росту и физике кристаллов, посвященной памяти М.П. Шаскольской, Москва, 1998, с.53.
  7. Свойства облученных быстрыми электронами монокристаллов кремния, легированных германием Дашевский М.Я., Ежлов В.С., Ладыгин Е.А., Горюнов Н.Н., Горшунов В.С., Мусалитин А.М., Юрчук С.Ю. Изв. вузов. Материалы электронной техники, 1999, №4, с.27-29.
  8. Физические свойства сильнолегированных монокристаллов кремния  М.Я. Дашевский, Л.Г. Антипин, В.С. Ежлов Тезисы докладов Второй Российской конференции по метериаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния ("Кремний-2000"), Москва, МИСиС, 2000, с.54.
  9. Образование дефектов в сложнолегированных монокристаллах кремния при облучении их быстрыми электронами Дашевский М.Я., Ежлов В.С., Ладыгин Е.А., Горюнов Н.Н., Мусалитин А.М., Юрчук С.Ю., Горшунов В.С. Тезисы докладов Второй Российской конференции по метериаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния ("Кремний-2000"), Москва, МИСиС, 2000, с.55.
  10. Дефектообразование в легированных германием монокристаллах кремния при облучении их быстрыми электронами Дашевский М.Я., Ежлов В.С., Мусалитин А.М., Горшунов В.С., Ладыгин Е.А., Горюнов Н.Н., Юрчук С.Ю. Тезисы докладов IX конференции по росту кристаллов (НКРК-2000), Москва, 2000
  11. Физические свойства и структурные особенности легированных германием монокристаллов кремния, выращенных в условиях жидкостной подпитки Ежлов В.С. Диссертация на соискание ученой степени к.ф-м.н, Москва, МИСиС, 2000
  12. Электрические свойства и структурные особенности легированных монокристаллов кремния с заданной двойниковой структурой, выращенных в (110) Дашевский М.Я., Кибизов Р.В., Афанасова И.В., Ежлов В.С., Кобелева С.П., Морозова Т.А. В сб. «Кремний-2002» (тезисы докладов), Новосибирск, Академгородок, 2002.
  13. Свойства облученных быстрыми электронами нелегированных и легированных германием монокристаллов кремния Дашевский М.Я., Ежлов В.С., Ладыгин Е.А., Горюнов Н.Н., Соловьева Ю.Н., Горшунов В.С., Антипин Л.Г. Тезисы лекций и докладов Второй Российской школы ученых и молодых специалистов по материаловедению и технологиям получения легированных кристаллов кремния («Кремний. Школа-2001»). Москва, МИСиС, 2001, с54.
  14. Дефектообразование в монокристаллах кремния легированных бором и бором и германием совместно при имплантации в них ионов фосфора Дашевский М.Я., Ежлов В.С., Мордкович В.Н., Горшунов В.С., Омельяновская Н.М. Тезисы лекций и докладов Второй Российской школы ученых и молодых специалистов по материаловедению и технологиям получения легированных кристаллов кремния («Кремний. Школа-2001»). Москва, МИСиС, 2001, с.57.
  15. Влияние облучения электронами на кинетику процесса образования термодоноров в пересыщенном твердом растворе кислорода в кремнии Дашевский М.Я., Светлова Н.Ю., Кондрашева О.С., Антипин Л.Г., Ежлов В.С., Мусалитин А.М., Юрчук С.Ю. Изв. вузов. Материалы электронной техники, №2, 2002, с.34.

4. Основная учебная литература, автором или соавтором которой является преподаватель

  • Программа учебного курса "Сертификация материалов и процессов электронной техники".

5. Участие в НИР, грантах, разработках и т.д. (тема, год):

  1. Рост, структурные особенности, физические свойства легированных монокристаллов кремния с заданной двойниковой структурой предназначенных для использования в фотопреобразователях Дашевский М.Я., Афанасова И.В., Ежлов В.С., Павлов В.Ф., Кобелева С.П., Выговская Е.А., Торопова О.В., Гольцова Ю.В., Ладанова М.А. Отчет по НИР, гос. рег №0120.041.2631 (НИР выполнялась по гранту Т02-05.4-3746), Москва, МИСиС, 2004.
  2. Точечные дефекты, распад твердых растворов и их роль в формировании структуры и свойств в полупроводниковых материалах. Раздел 3. Изучение процессов фазовых и структурных превращений совершенных монокристаллов кремния при имплантации в них ионов , радиационных воздействиях и термообработке Дашевский М.Я., Светлова Н.Ю., Ежлов В.С., Мусалитин А.М., Иржак А.В., Кондрашева О.В., Толмачева В.А. Отчет по НИР гос.рег. №01200205996, Москва, МИСиС, 2004.
  3. Разработка научных основ оптимизации процессов выращивания бездислокационных монокристаллов и термообработки пластин кремния больших диаметров и использованием методов математического моделирования Проект РФФИ 07-02-13580-офи_ц,  2007 г.

6. Награды, почетные звания, другие достижения.

7. Все научные и учебные публикации за последние 5 лет.

  1. Влияние германия низкотемпературного распада пересыщенных твердых растворов кислорода в кремнии М.Я. Дашевский, Н.Ю. Светлова, В.С. Ежлов, А.М. Мусалитин, М.С. Коноров, А.В. Иржак, В.В. Рвачева Третья российская школа ученых и молодых специалистов по физике,материаловедению и технологии получения кремния и приборных структур на его основе «Кремний. Школа-2005», Москва, МИСиС, 2005.
  2. Механические свойства напряженных бездислокационных пластин кремния, легированных бором Дашевский М.Я., Трифонова С.В., Шестакова А.П., Меженный М.В., Павлов В.Ф., Кугаенко О.М., Ежлов В.С., Логинец Е.В. III Международная конференция по физике кристаллов Кристаллофизика XXI века Москва, МИСиС, 2006.
  3. Механические свойства напряженных бездислокационных монокристаллических пластин кремния легированного бором М.Я. Дашевский, Е.В. Трифонова, Н.П. Шестакова, М.В. Меженный, В.Ф. Павлов, О.В. Минькова, В.В. Хасиков, О.М. Кугаенко, М.И. Петржик, В.С. Ежлов, Л.А. Голубева Четвертая Российская конференция с международным участием по физике, материаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния и приборных структур на их основе «Кремний-2007», Москва, МИСиС, 2007.
  4. Современные установки для выращивания монокристаллов кремния и сапфира Жвирблянский В.Ю., Ежлов В.С. V Международная конференция и IV школа молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2008», Черноголовка, ИПТМ РАН, 2008.
  5. Влияние параметров процесса выращивания бездислокационных монокристаллов кремния на их механические свойства М.Я. Дашевский, О.В. Минькова, С.Л. Сорокин, О.М. Кугаенко, М.И. Петржик, М.В. Меженный, В.Ф. Павлов, В.В. Хасиков, В.С. Ежлов, Л.А. Голубева, Ю.С. Панарина V Международная конференция и IV школа молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2008», Черноголовка, ИПТМ РАН, 2008.
  6. Структурные особенности и физические свойства монокристаллов кремния, легированных бором М.Я.Дашевский, О.В.Минькова, М.И.Петржик, С.Л.Сорокин, Н.П.Меженный, В.Ф.Павлов, В.С.Ежлов, О.М.Кугаенко, М.И.Воронова, В.В.Хасиков, Ю.С.Пан. XIII Национальная конференция по росту кристаллов, Москва, ИК РАН, 2008.
  7. Структурные особенности и механические свойства легированных бором бездислокационных монокристаллов кремния, выращенных по методу Чохральского Дашевский М.Я., Минькова О.В., Шестакова Н.П., Сорокин С.Л., Меженный М.В., Павлов В.Ф., Ежлов В.С., Кугаенко О.М., Петржик М.И., Воронова М.И., Хасиков В.В., Панарина Ю.С., Афонькин С.А. VI  Международная конференция и V школа молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2009», Новосибирск, ИНХ СО РАН, 2009.
  8. Рост, структурные особенности и физические свойства бездислокационных монокристаллов кремния большого диаметра М.Я. Дашевский, О.В. Минькова, С.Л. Сорокин, М.В. Меженный, В.Ф. Павлов, М.И. Воронова, В.С. Ежлов, О.М. Кугаенко, М.И. Петржик, В.В. Хасиков, С.А. Афонькин, М.А. Беляева, И.И. Тищенко VII Международная конференция и VI Школа молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2010», Нижний Новгород, ИФМ РАН, 2010.
  9. Особенности конструкции и оптимизация теплового узла новой большегрузной установки «Редмет-90М» Н.А. Верезуб, В.С. Ежлов, А.И. Простомолотов VII Международная конференция и VI Школа молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2010», Нижний Новгород, ИФМ РАН, 2010.
  10. Перспективы развития ростового оборудования для кремниевоно производства в России Г.А. Горюшин, В.И. Добровольская, А.В. Гусев, В.Ю. Жвирблянский, Ежлов В.С. VII Международная конференция и VI Школа молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2010», Нижний Новгород, ИФМ РАН, 2010.

8. Сведения о повышении квалификации за последние 5 лет .

  • Сертификат TUV Rheinland cпециалиста в области системы менеджмента качества (ISO 9001:2000) 2008 г.

9. Темы НИР и дипломных, квалификационных выпускных работ бакалавров и диссертаций магистров за последние 3 года.

10. Объявления для студентов

11. Дополнительные сведения (на усмотрение преподавателя).

Член Оргкомитета Российских и международных конференций и школ ученых и молодых специалистов «Кремний-2000», «Кремний-2001», «Кремний-2003», «Кремний-2005», «Кремний-2007», «Кремний-2008», «Кремний-2009» и «Кремний-2010».