Общий вид универсальной установки термоактивационной токовой спектроскопии

АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА ТЕРМОАКТИВАЦИОНОЙ ТОКОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИ АКТИВНЫХ ДЕФЕКТОВ В ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ОКСИДНЫХ ПЛЕНКАХ

Важную информацию о дефектах структуры кристалла, в частности электрически активных дефектах дают методы термоактивационной токовой спектроскопии (ТАТС): метод термостимулированных токов проводимости (ТСТП), метод термостимулированной поляризации и метод термостимулированной деполяризации. Представленная установка ТАТС, позволяет реализовать все три вида вышеуказанной спектроскопии, а также метод ТСТП в режиме короткого замыкания.

Регистрация спектров ТСТП проводится в диапазоне 300 – 800 К при скорости линейного нагрева 0,1 К/с. Установка состоит из следующих блоков: автоматический блок регулировки температуры (АБРТ), измерительная ячейка с образцом, измеритель малых токов, специализированный интерфейс ввода-вывода через СОМ-порт IBM PC, компьютер. АБРТ включает в себя цилиндрическую печь сопротивления шахтного типа (с сопротивлением 10 Ом и рабочей областью диаметром 50 мм и длиной 130 мм), термостат 0 ºС, систему контроля, блок питания, схему управления. В качестве измерителя малых токов использован прибор ИМТ-05, позволяющий регистрировать токи от 2∙10-12 А до  2∙10-6 А.

Установка позволяет:
а) получать в электронном виде спектры ТАТС, преобразовывать их в xls-файлы и осуществлять последующую математическую обработку;
б) эффективно разделять близкорасположенные пики ТСТ, что весьма важно для материалов со сложным энергетическим спектром дефектов.