Процессы микро- и нанотехнологии

Лабораторный практикум (Компьютерные модели базовых процессов микротехнологии)
Рабочая версия набора лабораторных работ - электронных имитаторов современных технологических процессов (на правах препринта)
Евсеев В.А., Крутогин Д.Г., Рабинович О.И.