Кожитов Л. В., Кондратенко Т.Т., 
Регистрация 89-219-2005 от 20.01.05
 
В перечень подлежащих охране сведений входят:
-         Порядок передачи полирующей композиции на обрабатывающую поверхность;
-         Температура суспензии-композиции;
-         Режим полировки.
Способ позволяет выполнять полировку цилиндрической поверхности непланарных подложек до класса шероховатости поверхности Rz; необходимой для проведения процесса эпитаксии. Способ предназначен для подготовки поверхности цилиндрических (непланарных) подложек из монокристаллического кремния для формирования многослойных эпитаксиальных структур n+-n; n+-p; n-p-n; p-n-p типов для производства силовых полупроводниковых приборов непланарной концентрации.