Основные направления научной деятельности кафедры соответствуют приоритетным направлениям науки и техники, утвержденным Правительством РФ:
  • Радиационная физика и технология твердотельных электронных приборов.
  • Ионное легирование и синтез в микро- и нанотехнологии.
  • Радиационная отбраковка и исследование радиационной стойкости полупроводниковых структур.
  • Технология и моделирование приборных структур на основе соединений типа АIIIBV.
  • Полупроводниковая оптоэлектроника – разработка и исследование новых типов полупроводниковых источников света для устройств и систем оптической обработки информации.
  • Функциональная интеграция элементной базы СБИС.
На кафедре имеются следующие лаборатории:
  • Физики твердого тела.
  • Измерений параметров полупроводников.
  • Физики полупроводниковых приборов.
  • Технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем.
  • Вакуумного напыления.
  • Ионной имплантации.
  • Радиационно-лучевой технологии.
  • Импульсного отжига.
  • Фотонного отжига.
  • Полупроводниковой оптоэлектроники.
  • Микросхемотехники.
Лаборатории кафедры укомплектованы уникальным оборудованием, таким как:
  • установка ионной имплантации HVE-350;
  • линейный ускоритель электронов ЭЛУ-6.