Кафедра технологии материалов электроники
Установка LaserPro Mercury предназначена для поверхностной обработки и резки различных материалов с помощью CO2 лазера. Система LaserPro Mercury включает в себя управляемый с помощью ПЭВМ модуль лазерного отжига представленный на рисунке.
Мощность лазера составляла 40 Вт, длинна волны λ=10,6 мкм, частота n=2000 Гц. Температура в рабочей зоне поддерживается на уровне 15 — 30 °С. Максимальная скорость сканирования 100 см/с. Разрешение варьируется от 80 до 390 точек на сантиметр. Рисунок и режим лазерного отжига задается через ПЭВМ с помощью программы CorelDraw 8. Мощность возможно менять в диапазоне
Приобретена и запущена кафедрой технологии материалов электроники в 2011г.
Для развития электроники на основе нанотехнологии находят применение новые материалы, представляющие углеродные нанокристаллические материалы и металлоуглеродные нанокомпозиты. Влияние квантово-размерного эффекта наноструктуры на свойства вещества, развитие органических полупроводников и открытие новых форм углерода (фуллерен, углеродные нанотрубки, углеродная пена, графен) стимулировали интерес к синтезу новых углеродных нанокомпозитов с модифицированными химическими свойствами на основе полимеров, которые содержат искривленные углеродные плоскости (сферические, кольцеподобные и тубуленоподобные образования). Типы гибридизации sp1, sp2 и sp3 химических связей атомов углерода и присутствие гетероатомов предполагает возникновение новых углеродных наноструктур, которые изменяют физические и химические свойства (электрическую проводимость, оптоэлектронные свойства, плотность, адсорбцию, работу выхода электронов, электромагнитное поглощение, каталитические и сенсорные свойства), что обеспечивает возможность изготовления электронных устройств, сопряженных с биологическими субстанциями. На установках инфракрасного нагрева с программируемыми режимами нагрева и контролируемой атмосферой нагрева эффективно решаются задачи синтеза разнообразных углеродно-композитных наноструктур методами терморазложения (термического крекинга) органических полимеров, легированных растворами металлических солей.
Технические характеристики печи фотонного отжига QHC-P610C
|
Наименование |
Техническая характеристика |
|---|---|
|
Максимальная температура отжига |
1200оС |
|
Программный газовый контроллер |
Тип QHC |
|
Эффективная область нагрева |
10×80 мм |
|
Кварцевый реактор |
50×360 мм |
|
Кварцевые держатели образца |
Типы: лодочка и пластина |
|
Метод охлаждения образца |
С помощью газа |
|
Требуемый расход воды |
8 л/мин |
|
Требуемый газ для охлаждения образца |
N2 |
Важную информацию о дефектах структуры кристалла, в частности электрически активных дефектах дают методы термоактивационной токовой спектроскопии (ТАТС): метод термостимулированных токов проводимости (ТСТП), метод термостимулированной поляризации и метод термостимулированной деполяризации. Представленная установка ТАТС, позволяет реализовать все три вида вышеуказанной спектроскопии, а также метод ТСТП в режиме короткого замыкания.
Регистрация спектров ТСТП проводится в диапазоне 300 — 800 К при скорости линейного нагрева 0,1 К/с. Установка состоит из следующих блоков: автоматический блок регулировки температуры (АБРТ), измерительная ячейка с образцом, измеритель малых токов, специализированный интерфейс ввода-вывода через СОМ-порт IBM PC, компьютер. АБРТ включает в себя цилиндрическую печь сопротивления шахтного типа (с сопротивлением 10 Ом и рабочей областью диаметром 50 мм и длиной 130 мм), термостат 0 ºС, систему контроля, блок питания, схему управления. В качестве измерителя малых токов использован прибор ИМТ-05, позволяющий регистрировать токи от 2∙10-12 А до 2∙10-6 А.
Установка позволяет:
Вибрационный магнитометр ВМ-07 имеет систему питания электромагнита, обеспечивающую плавную автоматическую перестройку постоянного магнитного поля в интервале 100 — 10000 Эрстед Образец располагается в магнитноэкранированном нагревательном узле с компьютерным управлением, что позволяет исследовать термомагнитные зависимости магнитных материалов в интервале температур 20 — 400 — 20 С с компьютерной регистрацией результатов.
Хорошо известный надежный дериватограф Q-1500D венгерской фирмы Паулик и Эрдеи дополнен компьютерным интерфейсом для накопления данных термического анализа. В сочетании с качественными тепловыми узлами и прецизионными методами оценки кинетики процессов диссоциации это делает прибор вполне современным средством физико-химического анализа в интервале температур до 1500 С.