Научно-исследовательский центр коллективного пользования «Материаловедение и металлургия» располагает уникальным современным оборудованием, позволяющим анализировать практически любые вещества: металлы, полупроводники, диэлектрики и органические материалы. Здесь проводится количественный и качественный анализ состава твердых тел, определение фазового состава приповерхностных слоев твердых тел, послойный анализ, электронно-микроскопические исследования твердых тел, оценка механических свойств и структура материалов.
Центр выполняет заказы кафедр и лабораторий НИТУ МИСИС, других вузов, институтов РАН, отраслевых НИИ и предприятий по направлениям:
- количественный и качественный элементный анализ состава твердых тел,
- определение фазового состава приповерхностных слоев твердых тел,
- послойный анализ (распределение примесей по глубине до ~ 5мкм),
- электронно-микроскопические исследования твердых тел.
Научные исследования:
- материаловедение объемных и тонкопленочных структур,
- нанотехнологии и материалы,
- структура и дефектообразование, их влияние на свойства массивных и тонкопленочных материалов электронной техники,
- разработка учебно-научного оборудования для исследования поверхностей твердых тел зондовыми методами.
Уникальное оборудование:
- Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр PHI 5500 ESCA фирмы Physical Electronics (США).
- Электронный оже-спектрометр PHI 680 AES фирмы Physical Electronics (США).
- Вторичный ионный масс-спектрометр PHI-6600 SIMS System фирмы Physical Electronics (США).
- Сканирующий ионный микроскоп Strata-201 фирмы FEI Company (Нидерланды).
- Лазерный масс-спектрометр LAMMA-1000 фирмы Leybold Heraus (Германия).
- Профилометр ALPHA-STEP фирмы Tencor (CША).
- Рентгеновский дифрактометр высокого разрешения Bede D`System фирмы Bede Scientific Instruments Ltd. (Великобритания).
- Сканирующий туннельный микроскоп (СТМ) (оригинальная разработка Центра).
- Технологическая установка получения алмазоподобных нанокомпозитов, алмазоподобных пленок и углеродных нанотрубок ULVAC CN-CVD-100 (Япония).
- Просвечивающий электронный микроскоп JEM-2000 EX (Япония).
- Растровый электронный микроскоп JSM-6700F с микроанализатором фирмы JEOL (Япония).
- Инновационные проекты:
- методика оценки количественного критерия РФС-анализа,
- методика расчета данных из зашумленных оже-спектров и низкоразмерных объектов (~20 нм).
Инновационные проекты:
- методика оценки количественного критерия РФС-анализа,
- методика расчета данных из зашумленных оже-спектров и низкоразмерных объектов (~20 нм).
Контакты
![]() |
Юрий Николаевич Пархоменкодиректор НИЦ «Материаловедение и металлургия», профессор, доктор физико-математических наук |