ЦКП «Материаловедение и металлургия»

Юрий Николаевич Пархоменко

Директор Центра, д. ф. -м. н, профессор

parkh@rambler.ru

+7 495 236-05-12

Центр выполняет заказы кафедр и лабораторий института, других вузов, институтов РАН, отраслевых научно-исследовательских институтов и предприятий по направлениям:

  • количественный и качественный элементный анализ состава твердых тел;
  • определение фазового состава приповерхностных слоев твердых тел;
  • послойный анализ (распределение примесей по глубине до ~ 5мкм);
  • электронно-микроскопические исследования твердых тел.

Разработки центра:

  • способ получения пьезоэлектрических монокристаллов ниобата лития с полидоменной структурой для устройств точного позиционирования;
  • сканирующий зондовый микроскоп для нанотехнологии.

Разработки защищены патентами, награждены золотыми медалями выставок.

Уникальное оборудование Центра:

  • Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр PHI 5500 ESCA фирмы Physical Electronics (США);
  • Электронный оже-спектрометр PHI 680 AES фирмы Physical Electronics (США);
  • Вторичный ионный масс-спектрометр PHI-6600 SIMS System фирмы Physical Electronics (США);
  • Сканирующий ионный микроскоп Strata-201 фирмы FEI Company (Нидерланды);
  • Лазерный масс-спектрометр LAMMA-1000 фирмы Leybold Heraus (Германия);
  • Профилометр ALPHA-STEP фирмы Tencor (CША);
  • Рентгеновский дифрактометр высокого разрешения Bede D`System фирмы Bede Scientific Instruments Ltd. (Великобритания);
  • Сканирующий туннельный микроскоп (СТМ) (оригинальная разработка Центра);
  • Технологическая установка получения алмазоподобных нанокомпозитов, алмазоподобных пленок и углеродных нанотрубок ULVAC CN-CVD-100 (Япония);
  • Просвечивающий электронный микроскоп JEM-2000 EX (Япония);
  • Растровый электронный микроскоп JSM-6700F с микроанализатором фирмы JEOL (Япония).

Инновационные проекты:

  • методика оценки количественного критерия РФС-анализа;
  • методика расчета данных из зашумленных оже-спектров и низкоразмерных объектов (~20 нм).

Научная деятельность:

  • материаловедение объемных и тонкопленочных структур;
  • нанотехнологии и материалы;
  • структура и дефектообразование и их влияние на свойства массивных и тонкопленочных материалов электронной техники;
  • разработка учебно-научного оборудования для исследования поверхностей твердых тел зондовыми методами.

Контакты

Адрес электронной почты:parkh@rambler.ru

Телефон Центра:+7 495 236-05-12

Факс:+7 495 236-05-12