Область научных интересов
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Значимые исследовательские проекты, гранты
Исследование ионной-электронной эмиссии в процессе ИЛТ и РИЛТ, исследование вторичной электронной эмиссии.
Публикации
ORCID: 0000-0003-1972-5311.
Web of Science ResearcherID: ACK-9995-2022.
Scopus AuthorID: 55975803100.
