Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевовго травления пленочных гетерокомпозиций

Научный руководитель: доктор технических наук, профессор Кузнецов Геннадий Дмириевич

Работа выполнена на кафедре технологии материалов электроники НИТУ МИСИС

Официальные оппоненты: доктор технических наук Киреев Валерий Юрьевич, кандидат технических наук Митрофанов Евгений Аркадьевич

Ведущая организация: Филиал ФЗМТ (Фрязинский завод мощных транзисторов), ОАО ЦНИИ «Дельфин»

Защита диссертации состоится «16» мая 2013 г. в 16 час.30 мин. в аудитории К-212 на заседании Диссертационного совета Д 212.132.06 в НИТУ МИСИС по адресу: 119049, г. Москва, Крымский вал, д.3, ауд. К-212.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке НИТУ МИСИС.

Опубликовано на сайте МИСиС 9.04.2013