Ионно-плазменное получение и возможность использования слоев твердых растворов на основе (SIC)1-X(ALN)X на монокристаллическом кремнии

Научный руководитель: доктор технических наук, профессор НИТУ МИСИС

Официальные оппоненты:
Киреев Валерий Юрьевич — доктор технических наук, советник директора ФГУП «НИИ физиче- ских проблем им. Ф.В. Лукина»
Рыжук Роман Валерьевич- кандидат технических наук, ст. науч. сотр. Национального исследова- тельского ядерного университета «МИФИ»

Ведущая организация: ОАО «Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С.А. Векшинского»

Защита диссертации состоится «25» июня 2015 г. в 14 час.30 мин. в ауд. К-212 на заседании дис- сертационного совета 212.132.06 при Национальном исследовательском технологическом универ- ситете «МИСиС» по адресу: 119049, г.Москва, Крымский вал., д.3

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке НИТУ МИСИС

Опубликовано на сайте МИСиС