Механические напряжения в металлических пленках при магнетронном осаждении

Егоров Григорий Петрович

Специальность: Физика конденсированного состояния
Искомая ученая степень:
кандидат физико-математических наук
Дата и время защиты:
18.12.2018 15:30
Место защиты:
НИТУ «МИСиС»

Диссертации по специальности
«Физика конденсированного состояния»: