Закономерности роста эпитаксиальных пленок β-SiC на кремнии с нанопористым буферным слоем и исследование их физических свойств

Султанов Азрет Оюсович

Специальность: 1.3.11 Физика полупроводников
Искомая ученая степень:
кандидат физико-математических наук
Дата и время защиты:
26.11.2019 15:00
Место защиты:
НИТУ МИСИС, А-305