Разработка основ технологии нанесения диэлектрических плёнок методом ионно-лучевого распыления мишеней в среде кислородной ВЧ плазмы для оптических покрытий ближнего ИК диапазона
Пушкин Дмитрий Борисович
Специальность: 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники
Искомая ученая степень:
кандидат технических наук
Место защиты:
НИТУ МИСИС
Текст диссертации15.11.2024
«Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники»: