- Дифрактометр D8 Discover;
- ИК Фурье спектрометр IFS 66v/S;
- Лаборатория сканирующая зондовая Ntegra;
- Лаборатория сканирующая зондовая Asylum Research MFP 3D;
- Микроскоп Axio Imager M1;
- Микротвердомер с управляемой скоростью TUKON 2100;
- Комплекс НАНОФАБ ТНК 100;
- Оже-спектрометр электронный PHT-680;
- Система оптического исследования тонких пленок Эллипсометр;
- Спектрометр рентгеновский фотоэлктронный PHI-5500;
- УВИ-спектрофотометр CARY-5000;
- Профилометр Alpha-Step IQ;
- Вторичный ионный масс-спектрометр PHI-6600.
