Закупка системы калибровки тока пучка электронного микроскопа для приставки электронной литографии Лаборатории «Функциональных низкоразмерных структур» в рамках реализации Программы повышения конкурентоспособности НИТУ МИСИС среди ведущих мировых научно-образовательных центров, грант К1-2015-046