Омические контакты на основе системы металлизации Mo/Al/Mo/Au к гетероструктурам AlGaN/GaN

Кондаков Михаил Николаевич

Специальность: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Искомая ученая степень:
кандидат технических наук
Дата и время защиты:
20.02.2020 14:00
Место защиты:
НИТУ «МИСиС», А-305

Диссертации по специальности
«Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»: