Влияние условий плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения на микроструктуру, состав и свойства пленок нитрида алюминия

Амбарцумов Михаил Георгиевич

Специальность: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Искомая ученая степень:
кандидат технических наук
Дата и время защиты:
22.12.2020 11:00
Место защиты:
НИТУ «МИСиС», А-305

Диссертации по специальности
«Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»: