Влияние условий плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения на микроструктуру, состав и свойства пленок нитрида алюминия
Амбарцумов Михаил Георгиевич
Специальность: 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Искомая ученая степень:
кандидат технических наук
Дата и время защиты:
22.12.2020 11:00
Место защиты:
НИТУ МИСИС, А-305
Текст диссертации30.09.2020
Материалы:
Протокол приема диссертации к защите12.10.2020
Объявление о защите12.10.2020
Текст автореферата диссертации12.10.2020
Отзыв научного руководителя12.10.2020
Отзыв ведущей организации25.11.2020
Отзывы, поступившие на работу21.12.2020
Протокол заседания Экспертной комиссии22.12.2020
Заключение Экспертной комиссии22.12.2020
Протокол о присуждении степени15.02.2021
Диссертации по специальности
«Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»: