Влияние условий плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения на микроструктуру, состав и свойства пленок нитрида алюминия
Амбарцумов Михаил Георгиевич
Специальность: 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Искомая ученая степень:
кандидат технических наук
Дата и время защиты:
22.12.2020 11:00
Место защиты:
НИТУ МИСИС, А-305
Текст диссертации (10 МБ)30.09.2020
Материалы:
Протокол приема диссертации к защите (1 МБ)12.10.2020
Объявление о защите (202 КБ)12.10.2020
Текст автореферата диссертации (2 МБ)12.10.2020
Отзыв научного руководителя (1010 КБ)12.10.2020
Отзыв ведущей организации (2 МБ)25.11.2020
Сведения о членах Экспертной комиссии и ведущей организации (7 МБ)12.10.2020
Отзывы, поступившие на работу (3 МБ)21.12.2020
Протокол заседания Экспертной комиссии (2 МБ)22.12.2020
Заключение Экспертной комиссии (2 МБ)22.12.2020
Протокол о присуждении степени (375 КБ)15.02.2021
Приказ о выдаче диплома об ученой степени (2 МБ)16.03.2021
Диссертации по специальности
«Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»:
